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    ASML韩国华城园区竣工

    来源:科创板日报 2025-11-13 11:26园区项目

    据《科创板日报》12日报道,荷兰芯片设备制造商阿斯麦(ASML)韩国华城园区竣工。阿斯麦华城园区总面积1.6万平方米,设有深紫外(DUV)光刻、极紫外(EUV)光刻等设备零部件再制造中心和先进技术培训中心。据悉,阿斯麦曾发布到2025年投资2400亿韩元在华城市建造半导体设备集群的计划。

    资料显示,阿斯麦是全球半导体光刻系统领域的领导者,总部位于荷兰费尔德霍芬,在全球60多个地区设有机构,其核心业务是为半导体厂商提供光刻机及配套软硬件和服务,其产品覆盖不同技术节点,形成差异化竞争优势。其中DUV深紫外光刻机作为主流高端芯片制造的主力设备,借助ArF浸没式技术,可生产7纳米、5纳米等先进制程芯片,通过多重曝光技术还能适配更先进节点。该设备在市场中技术领先,是众多芯片厂实现成熟制程与中高端制程生产的核心装备。

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