11月6日消息，苏大维格公告，拟以自有或自筹资金5.1亿元收购常州维普半导体设备有限公司（下称“常州维普”）51%股权。交易完成后，常州维普将成为苏大维格控股子公司，纳入合并报表范围。

苏大维格在公告中表示，本次收购完成后，有利于双方发挥各自在激光直写光刻和掩膜缺陷检测领域的优势，一是公司可借助常州维普客户资源及量产经验，加快推进激光直写光刻机在半导体光掩模制造和先进封装领域的量产应用；二是公司可助力常州维普在先进制程光学系统方面发展。

常州维普成立于2019年3月，注册资本346.63万元，主要业务为光掩膜缺陷检测设备和晶圆缺陷检测设备的研发、生产与销售，两类产品均属于半导体量检测核心设备。