2025年11月25日消息，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）宣布其自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200 ）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。

据介绍，AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制。

资料显示，芯上微装是一家聚焦高端半导体装备领域的创新型科技企业，由上海微电子装备（集团）股份有限公司拆分设立，于 2025 年 2 月 8 日正式成立，专注为半导体相关核心领域提供高精度设备解决方案。

晶圆级先进封装光刻机是其拳头产品，具备高分辨率、高套刻精度等优势，能满足 Flip - chip、2.5D/3D 等先进封装技术需求，同时还布局了方板先进封装光刻机、封装量检测设备等配套产品。